多レンジ型レーザドップラ振動計 V1002
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測定事例 『水晶振動子(圧電素子)の振動測定』
写真1 水晶振動子
振動周波数40kHzタイプの水晶振動子(圧電素子)の電極部にレーザ光を照射し、ピンポイントで振動波形を測定。
レーザドップラ振動計を使用することで、レーザ光の光軸方向の振動成分を、高い空間分解能で測定できます。
写真1のレーザ照射ポイントで、速度4mm/s(0-peak)(=変位16nm(0-peak))の振動波形を測定。(図1)
照射ポイントをスキャンさせることにより、振動分布の測定も可能です。図1 振動速度波形
測定条件 使用機器 V1002 速度レンジ 0.01m/s/V ローパスフィルタ 3MHz ハイパスフィルタ 0.1Hz
図2 振動速度波形のFFT画面