測定事例　『水晶振動子（圧電素子）の振動測定』

写真１　水晶振動子	振動周波数40kHzタイプの水晶振動子（圧電素子）の電極部にレーザ光を照射し、ピンポイントで振動波形を測定。 レーザドップラ振動計を使用することで、レーザ光の光軸方向の振動成分を、高い空間分解能で測定できます。 写真１のレーザ照射ポイントで、速度4mm/s(0-peak)（＝変位16nm(0-peak)）の振動波形を測定。（図１） 照射ポイントをスキャンさせることにより、振動分布の測定も可能です。
図１　振動速度波形	測定条件 使用機器 V100-S TYPE-N 速度レンジ 0.02m/s/V ローパスフィルタ 300kHz ハイパスフィルタ 0.5Hz